气体沉相剥膜系统(MVD)
气体沉相剥膜系统(MVD)
- 高效热气相剥膜技术
利用高温气体反应，快速、低污染地移除晶圆表面薄膜，适用于先进制程。 - 高耐压腔体设计
腔体耐压规格达 100 PSI，满足各种制程环境需求。 - 精密温湿度控制
精确调控腔体内温湿条件，确保剥膜过程稳定性。 - 防呆安全机构
腔体门配置防呆设计，降低人为失误，提升作业安全。 - 外部防烫设计
有效隔绝高温区域，保障操作人员安全与提升设备可用。 - 高度客制化服务
可依客户制程条件与应用需求，打造专属系统解决方案。